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厚度

尺寸公差

平面度(PV)(通光面)

TTV

表面粗糙度(Ra)

划痕

凹坑

崩边

规格  Erance

≥0.5 mm

直径 ± 0.1 mm   厚度 ± 0.02 mm

≤ λ ( λ = 632.8mm )

≤ 1 μm ( φ 200 mm )

≤ 0.01 μm

宽度 ≤ 10 μm

直径 ≤ 25 μm

      可根据客户要求,定做其他规格产品。 
      Other sizes available upon requests.

华球(中国)华球体育光掩膜基板
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